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压阻式传感器如何测量压力

  1、压阻式传感器的工作原理是基于半导体的压阻效应,即半导体材料受力时,其电阻率发生变化的现象。用N型单晶硅做成膜片,在膜片上利用集成电路工艺扩散了四个阻值相等的电阻,并构成电桥,就是扩散硅压阻芯片,以它为核心做成扩散硅压阻式压力传感器(图1)。

  

 

  图1 压阻式传感器

  2、气压源(图2)的电源线(图3)一端插入气压源面板上的插座,另一端接入220V市电,提供被测气压。

  

 

  图2 气压源

  

 

  图3 气压源的电源线

  3、使用气路三通(图4),将气压源、压阻式传感器和综合实验台的气压表(图5)相连,气压表测量气压源提供的被测气压大小,显示在综合实验台的仪表屏幕(图6)上。

  

 

  图4 气路三通

  

 

  图5 综合实验台的气压表

  

 

  图6 综合实验台的仪表屏幕

  4、将压阻式传感器的红、绿导线接入综合实验台的正5V电源(图7),为压阻芯片中的电桥供电,将蓝、黄导线接入比例运算模块(图8)的输入端。被测气压使压阻芯片的膜片变形,根据压阻效应,膜片上半导体电阻的阻值变化,经电桥转换成电压,再由比例运算模块放大后输出,输出电压反映被测气压的大小,实现压力的测量。

  

 

  图7 综合实验台的正5V电源

  

 

  图8 比例运算模块

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